芯片制造現(xiàn)在是許多國家難以逾越的鴻溝，其中不光是缺少光刻機等核心設備，光刻膠也是重要的一環(huán)。因此，國內不少公司都在傾力推動光刻膠技

芯片制造現(xiàn)在是許多國家難以逾越的鴻溝，其中不光是缺少光刻機等核心設備，光刻膠也是重要的一環(huán)。

因此，國內不少公司都在傾力推動光刻膠技術的研發(fā)，希望能解決目前幾乎被日美企業(yè)壟斷的局面。

近日，國內公司晶瑞電材在投資者互動平臺表示，公司光刻膠產品達到國際中高級水準，在國內具有悠久聲譽，穩(wěn)定生產光刻膠近

三十多年，是國內最早規(guī)模量產光刻膠的企業(yè)之一。

光刻膠是國際上技術門檻最高的微電子化學品之一，高端產品的研發(fā)和生產主要由日系JSR、信越化學、東京應化等少數公司所壟斷

。

晶瑞電材稱，公司承擔并完成了國家02專項“i線光刻膠產品開發(fā)及產業(yè)化”項目。公司為我國歷史最悠久、供應量最大的光刻膠生

產企業(yè)之一，產品序列齊全，產業(yè)化規(guī)模、盈利能力均處于行業(yè)領先水平。

其中g/i線光刻膠已向中芯國際、合肥長鑫等知名大尺寸半導體廠商供貨，KrF(248nm深紫外)光刻膠完成中試，目前已進入客戶測

試階段，測試通過后即可進入量產階段。

ArF高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動，旨在研發(fā)滿足90-28nm芯片制程的ArF(193nm)光刻膠，滿足當前集成電路產業(yè)關鍵材料市場

需求。

關鍵詞： 晶瑞電材